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外延層載流子濃度測(cè)試

設(shè)備：汞探針CV濃度測(cè)試儀CVmap 92A

廠商：美國(guó)Four Dimensions, Inc.(簡(jiǎn)稱4D)

用途：檢測(cè)SiC/GaN外延層載流子濃度分布

技術(shù)指標(biāo)：

具有不同面積汞接觸, 點(diǎn)-環(huán)接觸等功能，可測(cè)試SiC,GaN等半導(dǎo)體晶片載流子濃度分布